半导体原子层沉积下载（ 265 页 | 免费） 电子书下载

原名:Atomic Layer Deposition for Semiconductors Download ( 265 Pages | Free )
作品简介:本编辑卷讨论了所有现代半导体器件的原子层沉积 (ALD)，从 ALD 的基本化学和 ALD 工艺建模转向存储器、逻辑器件和机器的 ALD 部分。存储器 ALD 部分涵盖了量产存储器，例如……