用于物理传感应用的集成电路上的薄膜体声谐振器… PDF（176 页） 电子书下载

原名:Thin-film Bulk Acoustic Resonators on Integrated Circuits for Physical Sensing Applications … PDF (176 Pages)
作品简介:薄膜体声谐振器 (FBAR) 就是此类传感器之一，具有微米级尺寸和低结构，用于测量谐振石英晶体振荡器中随材料变化的频移。胡尔等人。已证明在杂交过程中可检测 0.1-4.0 iM DNA 靶标……