AlN 薄膜体声波谐振器的制作与表征 张涛 电子书下载

原名:Fabrication and characterization of AlN thin film bulk acoustic wave resonator by Tao Zhang
作品简介:John A. Barnard 博士，材料科学系教授，.. 图 3.5：(a) 四层复合谐振器和……