原名:Electromagnetic-Acoustic Resonators for Remote, Multi-Mode Solid and Liquid Phase Sensing by Frieder Lucklum
作品简介:3.2 圆形硅膜侧壁特征 DRIE SEM 图像
。 EMAT 电磁声换能器。 FSM 面剪切模式。有限元法。……
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原名:Electromagnetic-Acoustic Resonators for Remote, Multi-Mode Solid and Liquid Phase Sensing by Frieder Lucklum
作品简介:3.2 圆形硅膜侧壁特征 DRIE SEM 图像
。 EMAT 电磁声换能器。 FSM 面剪切模式。有限元法。……
