用于声学生物传感器、声流体和芯片实验室的压电薄膜的进展 电子书下载

原名:Advances in piezoelectric thin films for acoustic biosensors, acoustofluidics and lab-on-chip
作品简介:金属有机化学气相沉积； MPECVD，微波等离子体增强气相沉积； MSAW，磁表面声波；兆瓦，。……