微米和纳米技术薄膜沉积过程的化学物理 电子书下载

原名:Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies
作品简介:关于微米和纳米技术薄膜沉积和生长最新进展的最新教程论文集。重点是用于制造微米和纳米器件的沉积技术的基本方面、原理和应用。存款人……