表面静电 MEMS 谐振器的静态和动态机械行为 电子书下载

原名:Static and Dynamic Mechanical Behaviors of Electrostatic MEMS Resonator with Surface
作品简介:最后，利用COMSOL软件（COMSOL Inc.，斯德哥尔摩，瑞典）进行有限元分析来验证理论结果，得出……