原名:Drytech Quad Etch Recipes Dr. Lynn Fuller Mike Aquilino – People
作品简介:侧壁间隔物的各向异性氮化物蚀刻。 ASML 的 ZeroEtch。理论：
CHF3 和 CF4 提供对二氧化硅进行蚀刻的 F 自由基……
资源下载
VIP免费升级VIP
原名:Drytech Quad Etch Recipes Dr. Lynn Fuller Mike Aquilino – People
作品简介:侧壁间隔物的各向异性氮化物蚀刻。 ASML 的 ZeroEtch。理论：
CHF3 和 CF4 提供对二氧化硅进行蚀刻的 F 自由基……
