InGaAs 衬底上的 (Al2O3/HfO2) 薄膜 电子书下载

原名:(Al2O3/HfO2) films on InGaAs substrate
作品简介:感谢神圣先知哈兹拉特·穆罕默德 (P.B.U.H) 启发我们的良心……但是，由于 CMOS 器件的尺寸大幅缩小，SiO2 的厚度已减少到 14 Å。电介质或电绝缘材料用于集成电路以及栅极氧化物……