原名:Enhancement of crystallization of hydrogenated amorphous silicon by a 71 hydrogen plasma …
作品简介:非晶硅薄膜的结晶，“应用物理学杂志，回旋加速器共振氢等离子体钝化卷”，IEEE Electron Device [24] L. E. Katz，“氧化”，VLSI Technology，S. M. Sze，Ed.，第 2 版。非晶硅和晶体硅的热氧化，”半导体……
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