原名:Evaluation of Mechanical Properties of MEMS Materials and Their Standardization 1
作品简介:微米和纳米材料(尤其是薄膜)的机械性能评估,是通过压电致动器或电动千分尺完成的。拉伸试验方法见表1.1 循环试验中拉伸试验方法的比较。研究所.. Sharma、J. K. O. Sin、Y. Wang、An imp……
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原名:Evaluation of Mechanical Properties of MEMS Materials and Their Standardization 1
作品简介:微米和纳米材料(尤其是薄膜)的机械性能评估,是通过压电致动器或电动千分尺完成的。拉伸试验方法见表1.1 循环试验中拉伸试验方法的比较。研究所.. Sharma、J. K. O. Sin、Y. Wang、An imp……